Měřící metody


Metody řízení experimentů. Zpracování experimentálních dat. Zvládnutí ovládání DVM pomocí řízení sběrnice IMS, RS 232, zpracování souboru vlastních experimentálních dat. Fitovací postupy - nalezení parametrů struktur z exp. dat. Elektronové mikroskopy, rtg. zařízení, EDAX. Detekce slabých optických signálů, měření rozptýleného záření, optické konstanty pevných látek a jejich měření, vrstevnaté struktury, elipsometrie, interfernční metody, FFT, netradiční postupy.

Literatura:
1. J.Brož a kol. : Základy fyzikálních měření, díl 1 a 2, SNTL, Praha
2. H. Frank : Měřící metody polovodičů, ČVUT Praha 1967
3. Annual Book of ASTM Standards, 1998, 1999, 2000, 2001
4. M. Horák, A.Vítek : Zpracování a interpretace vibračních spekter, SNTL, Praha 1980
5. L.Kubáček, A.Pázmán : Štatistické metódy v meraní, VEDA, Bratislava 1979
6. J. Dlouhá : Mössbauerův jev a jeho využití, SNTL, Praha 1968
7. L. C. Feldman, J.W.Mayer : Fundamentals of Surface and Thin Film Analysis, North-Holland, New York 1986
8. A.V.Rakov : Spektroskopija tonkoplenočnych poluprovodnikovych struktur, Sovetskoe radio, Moskva 1975
9. G.Busch, U.Winkler : Bestimmung der Charakteristischen Grössen eines Halbleiters, Ergebnisse der Exakten Naturwüssenschaften 29 (1956), 145
10. Aktuality technologie a konstrukce polovodičových součástek Tesla, díl 22, Dům techniky Ostrava 1988